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    三維壓電掃描臺 ║P124XYZC是采用壓電陶瓷驅動的三維壓電納米定位平臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電掃描臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了納米定位臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米定位臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電掃描臺特點體積小、結構緊湊、易于集成,中空式設計,可更好的適用顯微及掃描應用。

     

    內置電容式精密位移傳感器,實現亞納米分辨率

    壓電納米定位臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。

     

    無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統帶來高精度的運動導向

    壓電納米位移臺內部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯導向系統,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。

     

    直接位置測量帶來超高的運動控制精度

    位移變化可直接在納米運動平臺上測量,完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

     

    內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

    壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統式壓電促動器的使用壽命更長,性能更穩定,可實現無故障運行1000億個循環。

     

    采用無磁材質設計制造,不受磁場的影響

    壓電納米位移臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。

     

    可提供適用于復雜真空應用版本

    壓電陶瓷納米定位系統中使用的所有部件均非常適合于在真空環境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統可實現極低的排氣率。

                                                                                         

    ◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

    ◆ 可提供更小外形尺寸版本;

     可提供更大通光孔徑版本;

    ◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

    ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

    ◆ 內置電容式精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

    ● 掃描顯微鏡

    ● 超分辨率顯微鏡

    ● 掩模/晶圓定位

    ● 干涉測量

    ● 測量技術

    ● 生物技術

    ● 顯微操作

                                                                                                        

                                                     

    型號

    P125XYZC

    單位

    公差

    主動軸

    X,Y,Z

    -

    -

    運動和定位

     

     

     

    傳感器類型

    電容式,直接測量

    -

    -

    開環行程[-20V~+150V]

    500x500x500

    μm

    ±20%

    閉環行程[0V~+120V]

    400x400x400

    μm

    ±20%

    開環分辨率

    2.5

    nm

    typ.

    閉環分辨率[16bit DAC]

    6.2

    nm

    typ.

    閉環線性度

    0.04

    %F.S.

    typ.

    重復定位精度

    ±8

    nm

    typ.

    機械特性

     

     

     

    運動方向剛度

    0.1/0.2/0.2

    N/μm

    ±20%

    空載諧振頻率

    100/120/140

    Hz

    ±20%

    運動方向推/拉力

    100/10

    N

    Max.

    承載能力

    3

    N

    Max.

    其他

     

     

     

    工作溫度

    -20~80

    -

    材質

    鋁,鋼

    -

    -

    外形尺寸

    140x140x35

    mm

    -

    通光孔徑

    66x66

    mm

    -

    重量

    1.65

    Kg

    ±5%

    線纜長度

    1.5

    m

    ±10mm

    連接器類型

    LEMO│SMB

    -

    -

    注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

    ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

    配套控制器

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