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    壓電納米臺 ║P114ZC是采用壓電陶瓷驅動的一維壓電納米定位臺,壓電納米臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電升降臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了納米臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。納米臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電升降臺特點體積小、結構緊湊、易于集成。

     

    內置電容式精密位移傳感器,實現亞納米分辨率

    壓電納米顯微掃描臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米顯微掃描臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。

     

    Z 軸壓電陶瓷納米定位平臺由帶有集成電容位置反饋傳感器的機械放大式壓電促動器驅動

    線性 Z 軸壓電陶瓷納米定位平臺,由帶有集成電容位置反饋傳感器的機械放大壓電陶瓷執行器驅動,與匹配的、工廠校準的高精度壓電控制器配套使用,以最大限度地提高定位精度。這種設計非常適合需要具有亞納米可重復性、納米級定位分辨率以及快速毫秒響應和穩定時間的壓電控制大行程范圍的應用。這包括激光掃描顯微鏡、光譜學或干涉測量法。

     

    內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

    壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統式壓電促動器的使用壽命更長,性能更穩定,可實現無故障運行1000億個循環。

     

    直接位置測量帶來超高的運動控制精度

    位移變化可直接在納米運動平臺上測量,完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

     

    無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統帶來高精度的運動導向

    壓電顯微掃描臺內部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯導向系統,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。

                                                                                         

    ◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

    ◆ 可提供更小外形尺寸版本;

    ◆ 可提供組合式XY,XZ,XYZ軸版本;

    ◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

    ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

    ◆ 內置電容式精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

    ● 納米定位

    ● 顯微鏡

    ● 生物技術

    ● 測試應用

    ● 半導體技術

    ● 光子

    ● 光纖定位

    ● 微加工

    ● 測試程序和質量保證

    半導體技術

    隨著光刻工藝的發展,如今的芯片變得越來越小,硅晶片上也出現了極為精細的結構。原子力顯微鏡(AFM)可實現原子級的高分辨率表面測量,為半導體制造領域帶來了全新的檢測方法。壓電陶瓷驅動器憑借出眾的性能及可靠性為這些技術進步做出了貢獻。

    現代電子芯片架構已經縮小到納米級,在半導體工業生產中基于品質控制及高精度測量的要求,壓電驅動器可提供:

     

    • 擺動精準定位控制在µm 和nm 級

    • 快速半導體研究掃描系統

    • 晶圓支架和晶圓調整裝置


     

                                                                                                        

                                                     

    型號

    P111ZC

    P112ZC

    P114ZC

    P118ZC

    單位

    公差

    主動軸

    Z

    Z

    Z

    Z

    -

    -

    運動和定位

     

     

     

     

     

     

    傳感器類型

    電容式,直接測量

    電容式,直接測量

    電容式,直接測量

    電容式,直接測量

    -

    -

    開環行程[-20V~+150V]

    120

    250

    500

    1000

    μm

    ±20%

    閉環行程[0V~+120V]

    100

    200

    400

    800

    μm

    ±20%

    開環分辨率

    0.6

    1.3

    2.5

    5

    nm

    typ.

    閉環分辨率[16bit DAC]

    1.6

    3.1

    6.2

    13

    nm

    typ.

    閉環線性度

    0.03

    0.03

    0.03

    0.03

    %F.S.

    typ.

    重復定位精度

    ±3

    ±4

    ±8

    ±15

    nm

    typ.

    機械特性

     

     

     

     

     

     

    運動方向剛度

    0.8

    0.6

    0.2

    0.1

    N/μm

    ±20%

    空載諧振頻率

    540

    420

    260

    120

    Hz

    ±20%

    運動方向推/拉力

    100/10

    100/10

    100/10

    100/10

    N

    Max.

    承載能力

    10

    7

    5

    3

    N

    Max.

    其他

     

     

     

     

     

     

    工作溫度

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -

    材質

    鋁,鋼

    鋁,鋼

    鋁,鋼

    鋁,鋼

    -

    -

    外形尺寸

    40x40x20

    60x60x30

    80x80x35

    80x80x35

    mm

    -

    重量

    0.1

    0.3

    0.4

    0.6

    Kg

    ±5%

    線纜長度

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    m

    ±10mm

    連接器類型

    LEMO│SMB

    LEMO│SMB

    LEMO│SMB

    LEMO│SMB

    -

    -

    注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

    ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

    配套控制器

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