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    納米級電容位移傳感器可達到的精度分辨率是納米級范圍

                                

    研生PIEZOXYZ研發生產的納米級電容位移傳感器通過測量使用均勻電場的傳感器探頭和移動目標表面之間的電容的變化,絕對值通過經調整、校準的系統確定,最小距離偏差通過無接觸在長距離基礎上測量,可達到的精度分辨率是納米級范圍,可有效測量最短的距離,高分辨率位移測量中的納米定位應用。通過雙極板電容傳感器測量移動物體最大精度的直接距離和實際位置。無接觸測量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬,可滿足動態應用中的閉環控制。

     

    無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統帶來高精度的運動導向

    壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯導向系統,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,可提供超高平面度的納米掃描,柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。

     

    采用壓電陶瓷驅動的Z向納米級壓電陶瓷掃描臺

    Z向壓電掃描臺內置高性能壓電陶瓷,專為Z軸納米級精密掃描與定位應用而設計的壓電掃描臺,實現高分辨率高精度的掃描與定位,結構緊湊、易于集成。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統中。大中空式壓電掃描臺被廣泛應用于掃描顯微鏡、光學、光刻、存儲設備測試、激光技術、微加工、半導體測試、干涉測量等。

     

    內置電容式精密位移傳感器,實現亞納米分辨率

    壓電掃描臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬,確保納米掃描臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。

     

    直接位置測量帶來超高的運動控制精度

    位移變化可直接在納米運動平臺上測量,完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

     

    內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

    壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統式壓電促動器的使用壽命更長,性能更穩定,可實現無故障運行1000億個循環。

     

    采用無磁材質設計制造,不受磁場的影響

    壓電納米掃描臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。

     

    可提供適用于復雜真空應用版本

    壓電陶瓷納米定位系統中使用的所有部件均非常適合于在真空環境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統可實現極低的排氣率。

     

    并聯式結構設計實現大承載、高精度、高動態的多軸并聯運動

    壓電掃描平臺采用獨特的并聯式結構設計,結構緊湊。在并聯多軸運動定位系統中,所有促動器作用于同一個運動平臺,使所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態性設計,使整體運動面具有更輕的質量和更低的慣量,從而實現快速、高動態和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態性。相較于串聯式壓電掃描臺,并聯式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態性和更優的運動精度。

                                                                                         

    ◆ 復合式柔性鉸鏈導向結構設計可實現更高的水平和垂直承載能力;

    ◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯導向可實現極高的運動精度;

    ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

    ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

    ● 計量

    ● 干涉測量

    ● 光子學/集成光學

    ● 平版印刷術

    ● 納米定位

    ● 掃描顯微鏡

    ● 樣本對準

    ● 微加工

                                                                                                        

                                                     

    型號

    P620C

    P621C

    P622C

    P624C

    單位

    公差

    主動軸

    Z

    Z

    Z

    Z

    -

    -

    運動和定位

     

     

     

     

     

     

    傳感器類型

    電容式,直接測量

    電容式,直接測量

    電容式,直接測量

    電容式,直接測量

    -

    -

    開環行程[-20V~+150V]

    50

    120

    250

    500

    μm

    ±20%

    閉環行程[0V~+120V]

    40

    100

    200

    400

    μm

    ±20%

    開環分辨率

    0.3

    0.6

    1.3

    2.5

    nm

    typ.

    閉環分辨率[16bit DAC]

    0.7

    1.6

    3.1

    6.2

    nm

    typ.

    閉環線性度

    0.05

    0.03

    0.03

    0.03

    %F.S.

    typ.

    重復定位精度

    ±2

    ±2

    ±3

    ±5

    nm

    typ.

    機械特性

     

     

     

     

     

     

    運動方向剛度

    3

    2.8

    2.2

    0.8

    N/μm

    ±20%

    空載諧振頻率

    570

    500

    350

    230

    Hz

    ±20%

    運動方向推/拉力

    100/100

    100/100

    100/100

    100/100

    N

    Max.

    承載能力

    50

    50

    50

    50

    N

    Max.

    其他

     

     

     

     

     

     

    工作溫度

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -20~80

    -

    材質

    鋁,鋼

    鋁,鋼

    鋁,鋼

    鋁,鋼

    -

    -

    外形尺寸

    150x150x35

    150x150x35

    150x150x35

    150x150x35

    mm

    -

    通光孔徑

    75x75

    75x75

    75x75

    75x75

    mm

    -

    重量

    1.4

    1.4

    1.5

    1.6

    Kg

    ±5%

    線纜長度

    1.5

    1.5

    1.5

    1.5

    m

    ±10mm

    連接器類型

    LEMO│SMB

    LEMO│SMB

    LEMO│SMB

    LEMO│SMB

    -

    -

    注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

    ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

    配套控制器

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