Z 軸壓電陶瓷納米定位載物臺由安裝在柔性鉸鏈彎曲導向結構內的壓電堆棧驅動

Z 軸壓電陶瓷納米定位載物臺由安裝在柔性鉸鏈彎曲導向結構內的壓電堆棧驅動，該結構預加載壓電堆棧并將其位移放大大約 10 倍。這使得納米臺在閉環運行時的總位移可為500µm 和 開環位移600µm，推薦負載為 500g。內置電容反饋傳感器以及我們的高精度壓電控制器在閉環操作中提供5nm分辨率，從而能夠對短期和長期漂移進行主動補償。在開環中使用時，壓電控制器將以3.2nm 的分辨率提供壓電載物臺進行微位移運動。

并聯式結構設計實現大承載、高精度、高動態的多軸并聯運動

壓電掃描平臺采用獨特的并聯式結構設計，結構緊湊。在并聯多軸運動定位系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺，使所有軸具有最小的質量慣性和相同的動態性設計，使整體運動面具有更輕的質量和更低的慣量，可實現快速、高動態和高精密的多軸運動且每軸具有相同的動態性。相較于串聯式壓電掃描臺，并聯式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態性和更優的運動精度。

內置電容式精密位移傳感器，實現亞納米分辨率

壓電納米顯微掃描臺內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬，確保納米顯微掃描臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。

采用壓電陶瓷驅動的納米級Z軸壓電顯微掃描臺

壓電顯微掃描平臺內置高性能壓電陶瓷，專為顯微掃描系統應用設計，用于高分辨率顯微鏡的高性價比納米定位系統，結構緊湊、易于集成，壓電顯微掃描臺非常適合應用于超高精度的顯微掃描系統中，超大中空式超薄設計，中央通光孔較大，專為安放載玻片或樣品皿設計，可更好的集成于顯微及掃描系統中。通過優化設計，更好的匹配主流制造商設計的產品，用于顯微掃描、跟蹤、高分辨率顯微鏡、倒置顯微鏡、共聚焦顯微鏡、篩選、三維成像、生物技術、干涉和計量等領域。

內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹，具有優異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩定，可實現無故障運行1000億個循環。

采用無磁材質設計制造，不受磁場的影響

壓電納米掃描臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。

可提供適用于復雜真空應用版本

壓電陶瓷納米定位系統中使用的所有部件均非常適合于在真空環境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統可實現極低的排氣率。

無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統帶來高精度的運動導向

壓電顯微掃描臺內部使用無摩擦及空回的高精度柔性鉸鏈并聯導向系統，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，可提供超高平面度的納米掃描，柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來超高的運動控制精度

位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。

共聚焦顯微鏡聚焦面的調整

高分辨率3-D成像

共聚焦顯微鏡用于活細胞成像，以通過單個細胞或細胞化合物產生虛擬3-D切片和Z向堆疊。它還在皮膚病學中用于對皮膚表面附近的病理性細胞變異進行體內診斷。

基于壓電陶瓷的驅動解決方案

基于壓電陶瓷的驅動解決方案可在高達數百微米的范圍內以幾納米的重復精度定位物鏡。隨后，各獨立的圖像相互疊加，從而產生高分辨率的3-D圖像。

• 準確Z向定位，用于創建Z向堆疊、3-D圖像和切片。

• 隨時間推移觀察到的過程受益于毫秒范圍內的較短穩定時間。

? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統，系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。