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    三維壓電掃描臺 ║P125XYZS是采用壓電陶瓷驅動的三維壓電納米定位臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電納米臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電掃描臺特點體積小、結構緊湊、易于集成。中空式設計,可更好的適用顯微及掃描應用。

     

    內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
    壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


    零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
    柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。

                                                                                         

    ◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

    ◆ 可提供更小外形尺寸版本;

     可提供更大通光孔徑版本;

    ◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

    ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

    ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

    ● 表面測量技術

    ● 納米壓印

    ● 顯微操作

    ● 圖像處理/穩定

    ● 掃描顯微鏡

    ● 超分辨率顯微鏡

    ● 掩模/晶圓定位

                                                                                                        

                                                     

    型號

    P125XYZS

    單位

    公差

    主動軸

    X,Y,Z

    -

    -

    運動和定位

     

     

     

    傳感器類型

    SGS,應變片

    -

    -

    開環行程[-20V~+150V]

    630x630x630

    μm

    ±20%

    閉環行程[0V~+120V]

    500x500x500

    μm

    ±20%

    開環分辨率

    6.4

    nm

    typ.

    閉環分辨率[16bit DAC]

    10

    nm

    typ.

    閉環線性度

    0.1

    %F.S.

    typ.

    重復定位精度

    0.03

    %F.S.

    typ.

    機械特性

     

     

     

    運動方向剛度

    0.3/0.4/0.6

    N/μm

    ±20%

    空載諧振頻率

    100/100/100

    Hz

    ±20%

    運動方向推/拉力

    100/10

    N

    Max.

    承載能力

    5

    N

    Max.

    其他

     

     

     

    工作溫度

    -20~80

    -

    材質

    鋁,鋼

    -

    -

    外形尺寸

    140x140x35

    mm

    -

    通光孔徑

    66x66

    mm

    -

    重量

    1.3

    Kg

    ±5%

    線纜長度

    1.5

    m

    ±10mm

    連接器類型

    LEMO│SMB

    -

    -

    注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

    ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

    配套控制器

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