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    三維壓電位移臺 ║P115XYZS是采用壓電陶瓷驅動的三維納米級壓電位移臺,壓電納米位移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電平臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米平臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。用于納米級定位和光纖校準的緊湊型多軸壓電系統。壓電平臺特點體積小、結構緊湊、易于集成、具有超高性價比的納米定位系統。

    內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
    壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。

    零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
    柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。

                                                                                         

    ◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

    ◆ 可提供更小外形尺寸版本;

    ◆ 無摩擦柔性鉸鏈導向可實現極高的運動精度;

    ◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

    ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

    ● 納米定位

    ● 光子學/集成光學

    ● 顯微操作

    ● 生物技術

    ● 半導體測試

    ● 半導體技術

    半導體測試

    隨著光刻工藝的發展,如今的芯片變得越來越小,硅晶片上也出現了極為精細的結構。原子力顯微鏡(AFM)可實現原子級的高分辨率表面測量,為半導體制造領域帶來了全新的檢測方法。壓電陶瓷驅動器憑借出眾的性能及可靠性為這些技術進步做出了貢獻。

     

    現代電子芯片架構已經縮小到納米級,在半導體工業生產中基于品質控制及高精度測量的要求,壓電驅動器可提供:

     

    • 擺動精準定位控制在µm 和nm 級

    • 快速半導體研究掃描系統

    • 晶圓支架和晶圓調整裝置

                                                                                                        

                                                     

    型號

    P115XYZS

    單位

    公差

    主動軸

    X,Y,Z

    -

    -

    運動和定位

     

     

     

    傳感器類型

    SGS

    -

    -

    開環行程[-20V~+150V]

    630x630x630

    μm

    ±20%

    閉環行程[0V~+120V]

    500x500x500

    μm

    ±20%

    開環分辨率

    6.4

    nm

    typ.

    閉環分辨率[16bit DAC]

    10

    nm

    typ.

    閉環線性度

    0.1

    %F.S.

    typ.

    重復定位精度

    0.03

    %F.S.

    typ.

    機械特性

     

     

     

    運動方向剛度

    0.3/0.4/0.6

    N/μm

    ±20%

    空載諧振頻率

    100/100/100

    Hz

    ±20%

    運動方向推/拉力

    100/10

    N

    Max.

    承載能力

    5

    N

    Max.

    其他

     

     

     

    工作溫度

    -20~80

    -

    材質

    鋁,鋼

    -

    -

    外形尺寸

    80x80x60

    mm

    -

    重量

    1.1

    Kg

    ±5%

    線纜長度

    1.5

    m

    ±10mm

    連接器類型

    LEMO│D-Sub9

    -

    -

    注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

    ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

    配套控制器

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