壓電促動器 ║P02系列是采用壓電陶瓷驅動的平行機構放大型壓電納米定位促動器，壓電促動器使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電促動器具有極佳的運動控制精度，分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電促動器為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電促動器體積小、結構緊湊、易于集成。
內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹，具有優異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障，可實現無故障運行1000億個循環。
零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。
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◆ 價格實惠的緊湊型定位系統； ◆ 可提供各種行程版本； ◆ 可提供更小外形尺寸版本； ◆ 可定制各種外形結構與安裝方式； ◆ 自適應系統技術中實現力的生成的完美OEM促動器，用于納米壓印過程或機床刀具； ◆ 采用高剛性和零空回構造，無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統可實現偏擺最小的直線運動； ◆ 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性。 |
● 納米定位 ● 高速切換 ● 膜片箝 ● 微分配 ● 自適應系統技術/自動化 ● 光子學/集成光學 ● 生物技術
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型號 |
P021 |
P022 |
P024 |
P028 |
P029 |
單位 |
公差 |
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主動軸 |
X |
X |
X |
X |
X |
- |
- |
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運動和定位 |
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最大行程［-20V~+150V］ |
120 |
250 |
500 |
1000 |
1800 |
μm |
±20% |
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標稱行程［0V~+120V］ |
100 |
200 |
400 |
800 |
1500 |
μm |
±20% |
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分辨率［16bit DAC］ |
1.6 |
3.1 |
6.2 |
13 |
23 |
nm |
typ. |
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機械特性 |
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運動方向剛度 |
2.2 |
1.2 |
0.7 |
0.4 |
0.2 |
N/μm |
±20% |
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空載諧振頻率 |
1100 |
520 |
250 |
150 |
70 |
Hz |
±20% |
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運動方向推/拉力 |
120/5 |
120/5 |
120/5 |
120/5 |
120/5 |
N |
Max. |
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其他 |
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工作溫度 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
-20～80 |
℃ |
- |
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材質 |
鋼 |
鋼 |
鋼 |
鋼 |
鋼 |
- |
- |
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外形尺寸 |
38x25x20 |
56x28x20 |
92x32x20 |
128x35x20 |
200x50x20 |
mm |
- |
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重量 |
0.08 |
0.15 |
0.35 |
0.55 |
1 |
Kg |
±5% |
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線纜長度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10mm |
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連接器類型 |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
- |
- |
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注：最大驅動電壓為-20V...+150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓為0V...+120V。標配為開環版本。 |
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? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統，系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。
