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    壓電物鏡位移器 ║P214S是采用壓電陶瓷驅動的納米級顯微鏡物鏡掃描儀,用于顯微鏡物鏡的快速納米定位器和掃描儀,該壓電物鏡安裝架最大通光孔徑為M32,最大載物重量為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡。為了更方便的更換物鏡,安裝座分別通過獨立的轉接件連接顯微鏡和物鏡。這種設計使得可在不需要拆下其它組件的情況下拆卸物鏡。轉接件可選螺紋接口(詳見尺寸圖)。

     

    壓電物鏡掃描儀內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電物鏡位移器內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電位移器具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電物鏡位移器為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋轉接器,可適配多種型號的物鏡。廣泛應用于三維成像技術、篩選、干涉、計量、磁盤驅動器測試、自動對焦系統、共聚焦顯微鏡、半導體測試、生物技術等領域。

                                                                                         

     用于顯微鏡物鏡的快速納米定位器和掃描儀;

    ◆ 結構緊湊,易于集成,分立式螺紋適配器可實現便捷連接;

    ◆ 與電機式驅動器相比,具有明顯更快的響應和更長的使用壽命;

    ◆ 亞納米級分辨率的物鏡精密定位;

    ◆ 平行柔性鉸鏈導向可實現最小的物鏡偏移;

    ◆ 零間隙無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統可實現更好的聚焦穩定性;

    ◆ 內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

    ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

     超分辨率顯微鏡

    ● 光學圓盤顯微鏡

    ● 3D成像

    ● 篩選

    ● 干涉測量

    ● 測量技術

    ● 自動聚焦系統

    ● 生物技術

    ● 半導體測試

    顯微鏡

    現代顯微任務要求越來越高的圖像分辨率以及3D圖像掃描系統。除了利用新開發的特殊光學方法(如STED,TIRF...)來獲得在生物學領域越來越多的詳細信息之外,同時包括其他應用方法:

     

    ?自動對焦

    ?共聚焦顯微鏡和三維成像系統

    ?服務于現代研究的定位系統如STED;TIRF;DIC;2光子顯微鏡

    ?可集成到幾乎所有的主流顯微鏡的定位系統

                                                                                                        

                                                     

    型號

    P211S

    P212S

    P214S

    單位

    公差

    主動軸

    Z

    Z

    Z

    -

    -

    運動和定位

     

     

     

     

     

    傳感器類型

    SGS 應變片

    SGS 應變片

    SGS 應變片

    -

    -

    開環行程[-20V~+150V]

    120

    250

    400

    μm

    ±20%

    閉環行程[0V~+120V]

    100

    200

    320

    μm

    ±20%

    開環分辨率

    0.6

    1.3

    2

    nm

    typ.

    閉環分辨率[16bit DAC]

    1.6

    3.1

    4.9

    nm

    typ.

    閉環線性度

    0.04

    0.04

    0.04

    %F.S.

    typ.

    重復定位精度

    ±5

    ±10

    ±16

    nm

    typ.

    機械特性

     

     

     

     

     

    運動方向剛度

    1.2

    0.8

    0.4

    N/μm

    ±20%

    空載諧振頻率

    510

    420

    330

    Hz

    ±20%

    諧振頻率@80g

    300

    240

    180

    Hz

    ±20%

    運動方向推/拉力

    100/20

    100/20

    100/20

    N

    Max.

    其他

     

     

     

     

     

    工作溫度

    10~70

    10~70

    10~70

    -

    材質

    鋼,鋁

    鋼,鋁

    鋼,鋁

    -

    -

    外形尺寸

    40x48x33

    65x61x35

    65x61x35

    mm

    -

    最大物鏡接口

    M28

    M32

    M32

    -

    Max.

    最大物鏡重量

    200

    200

    200

    g

    Max.

    重量

    0.2

    0.35

    0.4

    Kg

    ±5%

    線纜長度

    1.5

    1.5

    1.5

    m

    ±10mm

    連接器類型

    LEMO│D-Sub9

    LEMO│D-Sub9

    LEMO│D-Sub9

    -

    -

    注:最大驅動電壓為-20V...+150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓為0V...+120V。

    ? 基于無摩擦高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。開環分辨率為受系統放大器噪聲限制所能達到的典型值。極低的系統定位噪聲可獲得滿行程十萬分之一以上的閉環分辨率。

    配套控制器

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