電容傳感器 (Capacitive Sensor)

電容傳感器允許非接觸式測量，不會將過多能量引入壓電驅動系統并采用扁平化設計。其直接位置測量消除了漂移對從10微米到約2毫米行程范圍的影響。設計包括兩個導電表面：高頻交流電在兩個表面之間產生均勻電場。涵蓋定位平臺、傳感器技術和電子器件的總體系統在性能和精度方面均有所提升。半導體行業的客戶也青睞于這種小型和多功能設計以及系統中無熱量積聚。

          壓電陶瓷驅動/控制器                                                                               二維壓電平移臺